1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項目介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS）招標(biāo)人為中國電子科技集團公司第二十四研究所，招標(biāo)項目資金來自自籌資金，出資比例為100%。該項目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS）進行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號：ZKX20240429A028

2.2 招標(biāo)項目名稱：介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS）。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 主要功能要求：該設(shè)備為國產(chǎn)全新8寸SIH4+TEOS混源的介質(zhì)淀積設(shè)備，自帶SMIF（或同類裝置），RFID及EAP通訊功能，配置三個PECVD TWIN Chamber（2個SIH4腔，1個TEOS腔，所有腔室均配置LH+HF組件），擁有PEOX工藝、SRO工藝、SIN工藝、SRN工藝、SION工藝、FSG工藝和USG工藝等功能，每個Chamber擁有In-situ N2 plasma處理功能。

2.5 交貨地點：重慶沙坪壩西永微電園西永大道23號。

2.6 交貨期：合同生效后150天。

3. 投標(biāo)人資格要求
3.1投標(biāo)人須為具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2業(yè)績要求：投標(biāo)人提供本次投標(biāo)同型號或同系列的設(shè)備從2020年至今的任意一年的銷售業(yè)績，且一年中累計銷售量至少10臺；須提供設(shè)備采購合同復(fù)印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁及簽字或蓋章頁（合同供貨方可以是本次投標(biāo)人也可以是本次所投設(shè)備制造商）、合同簽訂時間、合同標(biāo)的物及其型號。

3.3 其它要求：本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。投標(biāo)人若為代理商，則須提供所投產(chǎn)品制造商的授權(quán)書。

3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)購買招標(biāo)文件并進行登記才具有投標(biāo)資格。

4. 招標(biāo)文件的獲取
4.1凡有意參加投標(biāo)者，請于2024年03月14日至2024年03月21日17時(北京時間)購買并下載招標(biāo)文件，現(xiàn)場不予受理。

4.2 招標(biāo)文件每套售價800元，售后不退。

欲購買招標(biāo)文件的投標(biāo)人,請聯(lián)系辦理供應(yīng)商會員事宜，成為正式供應(yīng)商后根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明在線完成招標(biāo)文件的購買!為保證您

能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書流程請聯(lián)系010-68818478

聯(lián)系人：劉靜

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