蒸發(fā)濺射儀項目已具備招標(biāo)條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物

1.2 招標(biāo)編號：0779-21400316A006

1.3 設(shè)備技術(shù)性能：

1.3.1進樣室

（1）進樣室可放置5片直徑150mm的樣品，并可放置5個樣片支架；腔室前開門，易于裝載樣片；

（2）帶有樣品傳輸裝置，雙側(cè)線性傳輸臂，手動控制模式，熟練程度下，樣片從放入進樣室到傳入鍍膜主腔室的時間間隔不超過10分鐘。

1.3.2磁控濺射

（1）主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥；在潔凈、干燥環(huán)境下，真空度需≤5×10E-7 Torr。

（2）系統(tǒng)需配備2個3英寸磁控濺射靶槍，濺射靶槍可靈活調(diào)節(jié)，根據(jù)用戶需求，可調(diào)節(jié)靶槍角度和最佳蒸鍍距離，以達(dá)到最佳蒸鍍效果。暗區(qū)屏蔽裝置高度低于靶材表面，減少對輝光區(qū)域的束縛，并降低靶材之外材料被同時濺射出來的幾率，靶材為卡箍式固定方式，方便更換和固定，配有緊湊式圓頂蓋濺射源擋板NdFeB磁陣組合。

（3）系統(tǒng)需配備1個3英寸磁性增強靶，升級版NdFeB磁陣組合，能夠沉積高達(dá)0.125英寸厚度的材料，支持非磁性材料和磁性材料工作模式的切換。

1.3.3電子束蒸發(fā)

（1）系統(tǒng)需配備國際一流品牌機械干泵，風(fēng)冷，無接觸式，氣體抽速不小于21cfm；

（2）系統(tǒng)需配備冷凝泵，抽速不小于1500l/s，可通過設(shè)備程序遠(yuǎn)程控制冷凝泵的自動再生，從室溫降溫到工作溫度時間不超過3小時。配備8200型氦氣壓縮機，10英尺長氦管；

（3）主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥；在潔凈、干燥環(huán)境下，真空度需≤9×10E-8 Torr。

1.4 數(shù)量：1臺（套）。

1.5 交貨期：合同簽訂后11個月內(nèi)交貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。

2.3本次招標(biāo)要求所投產(chǎn)品制造商2018年至今簽訂不少于2臺（套）磁控濺射系統(tǒng)或電子束蒸鍍系統(tǒng)供貨業(yè)績合同，提供合同復(fù)印件。

2.4 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.5 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1 支付成功后在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)自行下載招標(biāo)文件。

3.3 投標(biāo)人必須在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)相關(guān)說明）。

4. 投標(biāo)文件的遞交

4.1投標(biāo)文件遞交的截止時間（投標(biāo)截止時間，下同）為2021年03月29日14時00分，投標(biāo)人必須在此時間前將加密的電子版投標(biāo)文件傳至航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)（ /rest/index）并在此時間前現(xiàn)場遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件。

4.2 紙質(zhì)版投標(biāo)文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。

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