根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)對干法刻蝕設(shè)備進行其他招標(biāo)，歡迎合格的供應(yīng)商前來投標(biāo)。

項目名稱：干法刻蝕設(shè)備

項目編號：SDJXHD20230345-Z185

項目聯(lián)系方式：

項目聯(lián)系人：田老師

項目聯(lián)系電話：0531-88366151

采購單位聯(lián)系方式：

采購單位：山東大學(xué)

采購單位地址：山東省濟南市山大南路27號

采購單位聯(lián)系方式：魯老師 0531-88363689

一、采購項目內(nèi)容

擬購買的干法刻蝕設(shè)備是碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導(dǎo)體材料的專用刻蝕設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)碳化硅半導(dǎo)體的高精度、高選擇比、特殊形貌結(jié)構(gòu)刻蝕。該設(shè)備的引入有助于突破碳化硅功率芯片的量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)，建立起實訓(xùn)和創(chuàng)新基地，促進相關(guān)學(xué)科建設(shè)和人才培養(yǎng)。

經(jīng)用戶調(diào)研，SPTS公司擁有碳化硅襯底刻蝕的多項獨家專利，能夠完成低表面缺陷的碳化硅刻蝕和無微溝槽的碳化硅垂直溝道刻蝕，大幅度提高制備的碳化硅功率芯片的耐壓指標(biāo)，提高生產(chǎn)良率。SPTS公司的干法刻蝕設(shè)備在微結(jié)構(gòu)控制方面領(lǐng)先于同類設(shè)備，其他廠商的同類設(shè)備無法滿足碳化硅芯片微結(jié)構(gòu)刻蝕的要求。擬購買的干法刻蝕設(shè)備，擁有腔內(nèi)污染顆粒監(jiān)測、流量調(diào)節(jié)、襯底形變監(jiān)控等發(fā)明專利，能夠?qū)涛g腔內(nèi)部氛圍進行實時探測并做出及時調(diào)整，確?？涛g精度和均一性，提升芯片制備的良率。蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易有限公司為本項目指定代理商。因此采用單一來源方式采購。

擬定唯一供應(yīng)商名稱：蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易有限公司

二、開標(biāo)時間：2023年12月13日 09:15

三、其它補充事宜

資格要求：

1.具有本項目生產(chǎn)、制造、供應(yīng)或?qū)嵤┠芰?，符合、承認(rèn)并承諾履行本文件各項規(guī)定的供應(yīng)商均可參加投標(biāo)。

2.遵守有關(guān)的國家法律、法規(guī)和條例，具備《中華人民共和國政府采購法》和本文件中規(guī)定的條件：

1)具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；

2)具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務(wù)會計制度；

3)具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；

4)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；

5)參加政府采購活動前三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄；

3.單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商，不得參加同一合同項下的政府采購活動；

4.本次采購不接受聯(lián)合體報價。

獲取采購文件：

登錄山東大學(xué)采購網(wǎng)（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）進行供應(yīng)商注冊，注冊完成我中心審核通過后，再次登錄系統(tǒng)在線提交獲取采購文件申請，審核成功后自助下載采購文件。

投標(biāo)流程：

本項目采用電子招投標(biāo)方式采購。投標(biāo)供應(yīng)商必須按相關(guān)程序辦理數(shù)字證書和安裝投標(biāo)文件工具后方可上傳遞交投標(biāo)響應(yīng)文件。詳細(xì)操作說明見山東大學(xué)采購網(wǎng)（www.cgw.sdu.edu.cn）--資料下載--山東大學(xué)電子投標(biāo)指南文件。

發(fā)布公告媒介：本次采購公告在中國政府采購網(wǎng)和山東大學(xué)采購網(wǎng)中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)http://上發(fā)布。

公告時間：自本公告發(fā)布之日起五個工作日。

四、預(yù)算金額：

預(yù)算金額：1200.000000 萬元（人民幣）