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| 甬江實驗室采購化學機械拋光機（金屬）等設備項目國際招標公告(*) |
| 公告次數(shù)：* |
| 發(fā)布日期：****-**-** |
寧波中基國際招標有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于****年**月**日在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
*. 招標條件
項目概況：甬江實驗室因發(fā)展需要，需采購化學機械拋光機（金屬）設備、等離子體增強化學氣相沉積設備、高深寬比磁控濺射設備各*套。
資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經落實。
項目已具備招標條件的說明：項目已具備招標條件。
*. 招標內容：
招標項目編號：****-****CBNB****
招標項目名稱：甬江實驗室采購化學機械拋光機（金屬）等設備項目
項目實施地點：中國浙江
招標產品列表（主要設備）：
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序號 |
貨物名稱 |
數(shù)量 |
簡要技術規(guī)格 |
備注 |
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* |
化學機械拋光機（金屬）設備 |
*套 |
將待拋光晶圓在一定的分區(qū)下壓力及拋光液(由超細磨料顆粒、化學氧化劑和表面活性劑等液體介質組成的混合液)的作用下相對于一個拋光墊作旋轉運動，借助磨粒的機械磨削及液體介質的腐蝕作用來選擇性完成對晶圓表面金屬材料（Ti、TiN、Ta、TaN、W、TiW、Cu等）去除，并獲得光潔表面。 |
/ |
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* |
等離子體增強化學氣相沉積設備 |
*套 |
借助微波或射頻使氣體電離，局部形成等離子體，在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO * 、SiNx、SiON、P-doped SiO * 、Ge-doped SiO * 、BPSG、FSG等薄膜。 |
/ |
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* |
高深寬比磁控濺射設備 |
*套 |
使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層（Ti或Ta）及電鍍種子層（Cu），防止金屬與Si相互擴散的同時作為后續(xù)電鍍孔內填充金屬的導電層。 |
/ |
*. 投標人資格要求
*.*特定資格條件：
*.*.*投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書；
*.*本項目不接受聯(lián)合體投標。
*.*未領購招標文件不可以參加投標。
*. 招標文件的獲取
招標文件領購開始時間：****年*月**日，上午：*:**-**:** ；下午：**:**-**:**。
招標文件領購結束時間：****年*月**日**:**（北京時間）
招標文件領購地點：寧波中基國際招標有限公司（寧波鄞州區(qū)天童南路***號中基大廈**樓前臺，聯(lián)系人：李小姐，聯(lián)系電話：****-********,電子郵箱：*********@qq.com）；或在線購買，購買地址鏈接：https://dwz.cn/BzVsB**Q(此鏈接僅限于人民幣支付）
招標文件售價：每標段售價***元人民幣或**美元，售后不退(郵購須另加**元人民幣[國內]或**美元[國外])。
特別提示：供應商付款后應及時將匯款底單直接傳真或發(fā)郵件至我司前臺標書發(fā)售人員，并在底單上注明需要購買標書的項目編號、聯(lián)系人、手機號及郵箱，如未按此要求操作，供應商將有可能不能及時收到招標文件，請給予配合。
*. 投標文件的遞交
*.*投標截止時間（開標時間）：****年*月*日*時**分（北京時間）
*.*投標文件送達地點：甬江實驗室(寧波市鎮(zhèn)海區(qū)慈海南路****號*號樓***會議室）。
*.*開標地點：甬江實驗室(寧波市鎮(zhèn)海區(qū)慈海南路****號*號樓***會議室）。
*. 投標人在投標前應在必聯(lián)網（https://www.ebnew.com）或機電產品招標投標電子交易平臺（https://www.chinabidding.com）完成注冊及信息核驗。評標結果將在必聯(lián)網和中國國際招標網公示。
*. 聯(lián)系方式
招標人：甬江實驗室
地址：寧波市鎮(zhèn)海區(qū)慈海南路****號
聯(lián)系人：孫老師
聯(lián)系方式：****-********
招標代理機構：寧波中基國際招標有限公司
地址：寧波市鄞州區(qū)天童南路***號中基大廈**樓
聯(lián)系人：陳沖、方巧飛
聯(lián)系方式：****-********、********、********（傳真），chenchong******@***.com
異議（質疑）聯(lián)系人：陳俊****-********
*. 匯款方式
招標代理機構開戶銀行（人民幣）：中國工商銀行寧波鼓樓支行
招標代理機構開戶銀行（美元）：中國工商銀行寧波鼓樓支行
賬號（人民幣）：*******************
賬號（美元）：*******************
賬號（日元）：*******************
賬號（歐元）：*******************
銀行地址：中國浙江省寧波市中山西路***號
開戶名稱：寧波中基國際招標有限公司
swift代碼：ICBKCNBJNBO
行號（人民幣）：************
*.其他補充說明
*.*投標人遞交投標文件方式：現(xiàn)場遞交方式或郵寄遞交方式。
（*）采用郵寄方式遞交投標文件，需按以下要求遞交： 投標人須在****年*月*日**：**前將投標文件郵寄至規(guī)定地點，由招標代理機構工作人員進行簽收。各投標人自行考慮郵寄在途時間，郵寄過程中無論何種因素導致投標文件未按時遞交的后果，均由投標人自行負責。投標文件遞交時間以招標代理機構實際收到投標文件的時間為準。遲到的投標文件將被拒收。請各投標人確保密封包裝在郵寄過程密封包裝完好，因郵寄過程的密封破損造成不符合開標要求的，本招標代理機構概不負責。 投標文件郵寄地址為：寧波中基國際招標有限公司（寧波市鄞州區(qū)天童南路***號中基大廈**樓）。 收件人：陳沖 聯(lián)系方式：***********
