對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標，于2020-10-16在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造（紹興） 計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線購買一批設(shè)備
資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標人資金已到位
項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件
2、招標內(nèi)容
招標項目編號:0613-204522154268/01
招標項目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項目第三十批--低壓多晶硅生長機
項目實施地點:中國浙江省
招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
3、投標人資格要求
投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1）具有獨立的法人資格，相應(yīng)的經(jīng)營范圍。投標方應(yīng)具有正規(guī)注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內(nèi)應(yīng)有專門負責的經(jīng)驗豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應(yīng)用支持工程師。 2）投標人提供的設(shè)備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗 。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領(lǐng)購開始時間:2020-10-16
招標文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2020-10-23
是否在線售賣標書:否
7、聯(lián)系方式
招標人:中芯集成電路制造（紹興）
未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件！
項目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。
編輯：chinabidding.co
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造（紹興） 計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線購買一批設(shè)備
資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標人資金已到位
項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件
2、招標內(nèi)容
招標項目編號:0613-204522154268/01
招標項目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項目第三十批--低壓多晶硅生長機
項目實施地點:中國浙江省
招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 低壓多晶硅生長機 | 1 | 利用SIH4和PH3 共同做一下生成多晶硅薄膜層 | / |
| 2 | 低壓退火設(shè)備 | 1 | 實現(xiàn)鼓狀晶圓快速退火，修復(fù)表面晶格損傷，均勻性好 | / |
| 3 | 硼磷氧化擴散爐 | 1 | 實現(xiàn)硼磷氧化擴散，均勻性好 | / |
| 4 | 氮化硅生長機 | 1 | 實現(xiàn)氮化硅生長，均勻性好 | / |
| 5 | 非摻雜多晶硅生長機 | 1 | 實現(xiàn)非摻雜多晶硅生長，修復(fù)表面晶格損傷，均勻性好 | / |
| 6 | 氧化物薄膜生長機 | 3 | 設(shè)備通過反應(yīng)生成氧化SIO2薄膜層 | / |
| 7 | 柵氧化薄膜生長機 | 2 | 設(shè)備通過反應(yīng)生成氧化SIO2薄膜層 | / |
| 8 | 基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射層設(shè)備 | 1 | PEOX/SIN/DRAC Dep | / |
| 9 | 基于硅烷的氧化物/氮化物設(shè)備 | 1 | PEOX/SIN Dep | / |
| 10 | 基于TEOS的化學(xué)氣相沉積 | 1 | TEOS Dep | / |
| 11 | 次常壓化學(xué)氣相沉積 | 1 | SACVD Dep | / |
| 12 | 次常壓化學(xué)氣相沉積 | 1 | SACVD Dep | / |
| 13 | 離子束去平機 | 1 | 金屬膜離子束去平 | / |
| 14咨詢電話18811547188 | 高真空離子鍍膜金屬濺射機 | 1 | AIN & Mo metal Dep | / |
| 15 | 物理氣象沉積機 | 1 | 物理氣象沉積/metal Dep | / |
| 16 | 光刻膠烘烤設(shè)備 | 1 | 實現(xiàn)光刻膠烘烤 | / |
| 17 | 光刻顯影設(shè)備 | 1 | 實現(xiàn)光刻顯影 | / |
| 18 | 光刻涂布設(shè)備 | 1 | 實現(xiàn)光刻涂布 | / |
3、投標人資格要求
投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1）具有獨立的法人資格，相應(yīng)的經(jīng)營范圍。投標方應(yīng)具有正規(guī)注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內(nèi)應(yīng)有專門負責的經(jīng)驗豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應(yīng)用支持工程師。 2）投標人提供的設(shè)備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗 。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領(lǐng)購開始時間:2020-10-16
招標文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2020-10-23
是否在線售賣標書:否
7、聯(lián)系方式
招標人:中芯集成電路制造（紹興）
未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件！
項目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。
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