感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)項目已具備招標(biāo)條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物

1.2 招標(biāo)編號：0779-21400316A008

1.3 設(shè)備組成與技術(shù)性能：

1.3.1 設(shè)備組成

設(shè)備主要由以下幾部分組成：反應(yīng)腔、下電極、上電極（ICP源）、射頻源、真空系統(tǒng)、預(yù)真空室、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)與軟件、配套附件等。

1.3.2 技術(shù)性能

1.3.2.1 反應(yīng)腔

（1）上、下電極之間的距離可電動調(diào)節(jié)、以優(yōu)化工藝；

（2）反應(yīng)腔采用雙層進氣，配置單獨的SiH₄進氣環(huán)。

1.3.2.2下電極

樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換，無需開腔、無需破真空。

1.3.2.3上電極（ICP源）

采用平板式天線。等離子體密度可到1E12 cm^-3。

1.4 數(shù)量：1臺（套）。

1.5 交貨期：合同簽訂后6個月內(nèi)交貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書。

2.3 本次招標(biāo)要求所投產(chǎn)品制造商2018年至今訂不少于2臺（套）感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)供貨合同，提供合同復(fù)印件作為證明。

2.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1 支付成功后在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)自行下載招標(biāo)文件。

3.3 投標(biāo)人必須在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)相關(guān)說明）。

4. 投標(biāo)文件的遞交

4.1投標(biāo)文件遞交的截止時間（投標(biāo)截止時間，下同）為2021年03月30日09時30分，投標(biāo)人必須在此時間前將加密的電子版投標(biāo)文件傳至航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)（ /rest/index）并在此時間前現(xiàn)場遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件。

4.2 紙質(zhì)版投標(biāo)文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。

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