中吉國際項目管理 對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標，于2024-01-03在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:無掩模光刻機（進口設(shè)備）具體內(nèi)容詳見招標文件資金到位或資金來源落實情況:已到位，銀行貸款項目，已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內(nèi)容招標項目編號:2125-244zjgjg0103招標項目名稱: 吉林師范大學(xué)重大設(shè)備貸款項目（十二）（三次）項目實施地點:中國吉林省招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	無掩模光刻機（進口設(shè)備）	1套	1、配備405nm激光光源，功率不小于3mW，壽命長于10000小時； *2、最小分辨率不低于300nm,至少支持300nm、600nm、900nm光學(xué)分辨率，要求軟件直接控制各分辨率模塊的切換； 3、配備650nm波長紅外聚焦系統(tǒng)，保證光刻過程的實時聚焦； 4、配備分辨率不低于1μm的攝像模組，保證優(yōu)于500nm的套刻精度； *5、至少支持4096階的灰度光刻； 6、配備ECM灰度面型補償功能，保證灰度光刻工藝的穩(wěn)定性； 7、配備高精度的光柵尺，定位分辨率不低于2nm，保證較好的光刻精度，CD均勻性優(yōu)于50nm，邊緣粗糙度優(yōu)于30nm，平臺運動直線度優(yōu)于1u@150mm； 8、最大曝光面積不小于150mm*150mm 9、支持基板尺寸范圍至少包括5mm*5mm~160mm*160mm； 10、要求Z方向自動聚焦，支持襯底厚度至少在0~10mm； 11、項目管理軟件需支持在線畫圖(如各種類型光柵，透鏡等)； 12、支持數(shù)據(jù)格式須包括DXF,GDSII,BMP,TIFF。 *13、支持免繪圖模式曝光功能。 14.溫控防塵系統(tǒng):要求溫度控制<±0.5℃,潔凈等級class100； 15、需要在中國要有售后服務(wù)網(wǎng)點和同類型設(shè)備的實驗中心提供技術(shù)支持。	/

3、投標人資格要求投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:3.1如果投標人所投的貨物不是投標人自己制造的需提授權(quán)書，制造商直接授權(quán)需提供制造商出具的有效授權(quán)書，非制造商直接授權(quán)的需提供制造商國內(nèi)逐級代理商的有效授權(quán)書；3.2 投標人是響應(yīng)招標、已在招標人或招標機構(gòu)處領(lǐng)購招標文件并參加投標競爭的法人或其他組織。任何未在招標機構(gòu)處領(lǐng)購招標文件的法人或其他組織均不得參加投標。3.3 除非另有規(guī)定，凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)(以下簡稱“合格來源國/地區(qū)”)的法人或其他組織均可投標。3.4 與招標人存在利害關(guān)系可能影響招標公正性的法人或其他組織不得參加投標。3.5 接參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加書（附單位負責(zé)人和授權(quán)代表身份證）。3.13.法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件。是否接受聯(lián)合體投標:不接受未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯(lián)系人：李楊  
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。

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