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| 甬江實(shí)驗(yàn)室采購化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（金屬）等設(shè)備項(xiàng)目（重招）國際招標(biāo)公告(*) |
| 公告次數(shù)：* |
| 發(fā)布日期：****-**-** |
對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于****年**月**日在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
*. 招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況：甬江實(shí)驗(yàn)室因發(fā)展需要，需采購化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（金屬）設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備、高深寬比磁控濺射設(shè)備各*套。
資金到位或資金來源落實(shí)情況：項(xiàng)目所需資金已經(jīng)落實(shí)。
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明：項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。
*. 招標(biāo)內(nèi)容：
招標(biāo)項(xiàng)目編號：****-****CBNB****
招標(biāo)項(xiàng)目名稱：甬江實(shí)驗(yàn)室采購化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（金屬）等設(shè)備項(xiàng)目（重招）
項(xiàng)目實(shí)施
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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
*套
借助微波或射頻使氣體電離，局部形成等離子體，在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO * 、SiNx、SiON、P-doped SiO * 、Ge-doped SiO * 、BPSG、FSG等薄膜。
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高深寬比磁控濺射設(shè)備
*套
使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層（Ti或Ta）及電鍍種子層（Cu），防止金屬與Si相互擴(kuò)散的同時作為后續(xù)電鍍孔內(nèi)填充金屬的導(dǎo)電層。
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*. 投標(biāo)人資格要求
*.*特定資格條件：
*.*.*投標(biāo)人必須是投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或投標(biāo)產(chǎn)品的制造商授權(quán)的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項(xiàng)目的授權(quán)書；
*.*本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
*.*未領(lǐng)購招標(biāo)文件不可以參加投標(biāo)。
*.
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！
項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機(jī)：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com
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