對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標(biāo)，于2024-04-29在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項目概況:甬江實驗室因發(fā)展需要，需采購深硅刻蝕機1套、濕法厚膜沉積設(shè)備1套。資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經(jīng)落實。項目已具備招標(biāo)條件的說明:項目已具備招標(biāo)條件。2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項目編號:0762-2441CBNB2010招標(biāo)項目名稱:甬江實驗室采購深硅刻蝕機和濕法厚膜沉積設(shè)備項目（重招）項目實施地點:中國浙江省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	深硅刻蝕機	1套	真空系統(tǒng)：腔室極限真空≤0.1mTorr，腔室漏氣率≤2mTorr/min，控壓范圍至少包括5mTorr-500mTorr，控壓精度≤±0.1mTorr。
2	濕法厚膜沉積設(shè)備	1套	預(yù)處理模塊：配置預(yù)潤濕功能，電鍍前對晶圓表面及TSV深孔等進行有效潤濕并去除晶圓表面顆粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:投標(biāo)人必須是投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或投標(biāo)產(chǎn)品的制造商授權(quán)的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權(quán)書是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項目 聯(lián)系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
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備注：欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標(biāo)公告，中標(biāo)公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標(biāo)清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準(zhǔn)，以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。

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