根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)對物理氣相沉積設(shè)備進(jìn)行其他招標(biāo)，歡迎合格的供應(yīng)商前來投標(biāo)。

項(xiàng)目名稱：物理氣相沉積設(shè)備

項(xiàng)目編號：SDJXHD20230397-Z219

項(xiàng)目聯(lián)系方式：

項(xiàng)目聯(lián)系人：田老師

項(xiàng)目聯(lián)系電話：0531-88366151

采購單位聯(lián)系方式：

采購單位：山東大學(xué)

采購單位地址：山東省濟(jì)南市山大南路27號

采購單位聯(lián)系方式：魯老師 0531-88363689

一、采購項(xiàng)目內(nèi)容

半導(dǎo)體器件制備過程中，金屬成膜質(zhì)量直接決定著器件歐姆接觸的形成和導(dǎo)通阻值、開態(tài)電流等性能。該設(shè)備的引入能夠解決8英寸碳化硅功率器件正面、背面金屬薄膜均勻性差、相互污染等問題，推動半導(dǎo)體芯片、微納加工等領(lǐng)域關(guān)鍵科學(xué)和技術(shù)的突破。

北方華創(chuàng)微電子裝備公司生產(chǎn)的物理氣相沉積設(shè)備，擁有獨(dú)家的磁控專利技術(shù)，能夠制備致密度高、均一度好、粘結(jié)力腔、顆粒度少的金屬薄膜；能在同一平臺上配套多個(gè)沉積腔室，保證同一腔室內(nèi)只沉積一種金屬，避免相互污染，國內(nèi)其他廠商無法實(shí)現(xiàn)該功能。因此，采用單一來源方式采購該設(shè)備。

擬定唯一供應(yīng)商名稱：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司

二、開標(biāo)時(shí)間：2023年12月13日 08:45

三、其它補(bǔ)充事宜

資格要求：

1.具有本項(xiàng)目生產(chǎn)、制造、供應(yīng)或?qū)嵤┠芰Γ?、承認(rèn)并承諾履行本文件各項(xiàng)規(guī)定的供應(yīng)商均可參加投標(biāo)。

2.遵守有關(guān)的國家法律、法規(guī)和條例，具備《中華人民共和國政府采購法》和本文件中規(guī)定的條件：

1)具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；

2)具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會計(jì)制度；

3)具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；

4)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；

5)參加政府采購活動前三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄；

3.單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商，不得參加同一合同項(xiàng)下的政府采購活動；

4.本次采購不接受聯(lián)合體報(bào)價(jià)。

獲取采購文件：

登錄山東大學(xué)采購網(wǎng)（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）進(jìn)行供應(yīng)商注冊，注冊完成我中心審核通過后，再次登錄系統(tǒng)在線提交獲取采購文件申請，審核成功后自助下載采購文件。

投標(biāo)流程：

本項(xiàng)目采用電子招投標(biāo)方式采購。投標(biāo)供應(yīng)商必須按相關(guān)程序辦理數(shù)字證書和安裝投標(biāo)文件工具后方可上傳遞交投標(biāo)響應(yīng)文件。詳細(xì)操作說明見山東大學(xué)采購網(wǎng)（www.cgw.sdu.edu.cn）--資料下載--山東大學(xué)電子投標(biāo)指南文件。

發(fā)布公告媒介：本次采購公告在中國政府采購網(wǎng)和山東大學(xué)采購網(wǎng)中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)http://上發(fā)布。

公告時(shí)間：自本公告發(fā)布之日起五個(gè)工作日。

四、預(yù)算金額：

預(yù)算金額：1600.000000 萬元（人民幣）